质量流量控制器有哪些种类和型号？

质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）是一种能够精确测量和控制流体流量的仪器。在工业、科研和医疗等领域，MFC的应用越来越广泛。本文将详细介绍质量流量控制器的种类和型号。

一、质量流量控制器的种类

电子式质量流量控制器是利用热式、电容式、超声波式等传感器测量流体的质量流量。其优点是精度高、稳定性好、响应速度快，适用于各种气体和液体。

（1）热式质量流量控制器

热式质量流量控制器通过测量流体流过加热元件时的温度变化来计算质量流量。根据加热元件的不同，可分为热丝式和热膜式两种。

（2）电容式质量流量控制器

电容式质量流量控制器利用流体流过电容传感器时的电容变化来计算质量流量。其优点是结构简单、成本低、适用范围广。

（3）超声波式质量流量控制器

超声波式质量流量控制器通过测量流体流过超声波传感器时的超声波传播速度变化来计算质量流量。其优点是测量精度高、适用范围广。

机械式质量流量控制器利用机械结构测量流体的质量流量。其优点是结构简单、可靠性高，适用于流量较大、精度要求不高的场合。

（1）涡轮式质量流量控制器

涡轮式质量流量控制器通过测量流体流过涡轮叶片时的转速来计算质量流量。其优点是结构简单、成本低、适用范围广。

（2）转子式质量流量控制器

转子式质量流量控制器通过测量流体流过转子时的扭矩来计算质量流量。其优点是结构简单、可靠性高、适用范围广。

集成式质量流量控制器将传感器、执行器和控制器集成在一起，具有体积小、重量轻、安装方便等优点。适用于各种便携式设备。

二、质量流量控制器的型号

（1）Honeywell MKS系列

Honeywell MKS系列热式质量流量控制器具有高精度、高稳定性、响应速度快等特点，适用于各种气体和液体。

（2）Brooks系列

Brooks系列热式质量流量控制器具有高精度、高稳定性、响应速度快等特点，适用于各种气体和液体。

（1）Endress+Hauser系列

Endress+Hauser系列电容式质量流量控制器具有高精度、高稳定性、响应速度快等特点，适用于各种气体和液体。

（2）ABB系列

ABB系列电容式质量流量控制器具有高精度、高稳定性、响应速度快等特点，适用于各种气体和液体。

（1）Krohne系列

Krohne系列超声波式质量流量控制器具有高精度、高稳定性、响应速度快等特点，适用于各种气体和液体。

（2）Siemens系列

Siemens系列超声波式质量流量控制器具有高精度、高稳定性、响应速度快等特点，适用于各种气体和液体。

（1）Endress+Hauser系列

Endress+Hauser系列涡轮式质量流量控制器具有高精度、高稳定性、响应速度快等特点，适用于各种气体和液体。

（2）Brooks系列

Brooks系列涡轮式质量流量控制器具有高精度、高稳定性、响应速度快等特点，适用于各种气体和液体。

（1）Endress+Hauser系列

Endress+Hauser系列转子式质量流量控制器具有高精度、高稳定性、响应速度快等特点，适用于各种气体和液体。

（2）Brooks系列

Brooks系列转子式质量流量控制器具有高精度、高稳定性、响应速度快等特点，适用于各种气体和液体。

总结

质量流量控制器种类繁多，型号各异。根据应用场合、流体特性、精度要求等因素，选择合适的质量流量控制器至关重要。本文对质量流量控制器的种类和型号进行了详细介绍，希望能为读者提供有益的参考。